硅片检测
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MatrixSolar·硅片同心圆检测设备
01
高速高效检测:单次结果给出最低至200ms/次
02
超高检出精度:AI结合传统算法,保证缺陷超高检出率
03
安全无损检测:在线非接触式检查,杜绝检测过程中的损伤
04
安全检测方案:自主研发LED成像系统,无高温及损伤风险
05
保障高效生产:软件支持一拖二双通道同时运行,在降低成本同时提高效率
产品规格
物料能力
硅片尺寸 156~230mm
检测缺陷 隐裂、划伤、黑点斑、黑边、脏污、同心圆、
吸盘印 舟印、卡点印、崩边缺角等缺陷
设备*
供电 220VAC±10%,16A,50/60Hz
安装位置 硅片上料机
通讯要求 IO/tcp协议
检测能力*
运行模式 在线检测,全检或抽检
拍照方式 面阵或线扫
检测节拍
自动检测 ≤0.5s/次
Uptime ≥99.9%,计算方式:[1-(维护+维护时间)/总时间]*100%
准确性 误检率:≤0.1%(良率大于95%以上)
漏检率:≤0.1%(良率大于95%以上)
辅助功能 检测结果可上传MES系统

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