硅片隐裂检测是在线监测硅片内部缺陷的有效方式。
聚时科技采用实时在线检测方式,加快了整体检测效率;减少人工目视检查造成的误判和漏检,分段控制避免不良品流入后段影响整体良率。
物料能力 | |
支持产品 | 原硅片、PE前制程片 产品尺寸:≤230mm |
产品外观尺寸 | L450(mm)*W150(mm)*H520(mm),高度按线体环境调节 |
检测功能* | |
检测内容 | 隐裂、崩边缺角、针孔、黑点、片放反,线痕等 |
自动检测 | AI全自动在线精准检测,无需人工复判 |
数据统计 | 直观便捷提供可视化量化数据,帮助客户完善工艺 |
检测能力* | |
产能 | >7200pcs/h |
检测效率 | <200ms/pcs |
Uptime | ≥99.9%,计算方式:[1-(维护+维修时间)/总时间]*100% |
最高检测精度 | 70um |
准确性 | 误检率:≤0.03% 漏检率:≤0.01% 检测良率:≥95%,漏检数量/检测总量,10000片以上 |
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