主要用于扩散上下料/氧化上下料石英石内部硅片的检测,检测硅片是否存在少片、空片、碎片等。实时监控舟内片的情况,及时报警反馈设备或人工处理。
实时管理监控当前工艺段的成品率,避免不良品随花篮流入后续制程,提高整体产线效率。
物料能力 | |
支持产品 | 单晶:PERC、HJT、TOPCon等 |
兼容产品尺寸 | 扩散上下料/氧化上下料,基础尺寸182±0.5mm,向下尺寸不限,向上兼容至230±0.5mm,硅片厚度≥140μm,常规100片的花篮 |
检测功能* | |
检测项目 | 石英舟满舟碎片、缺片、空舟舟槽内碎片、顶齿内碎片等 |
自动检测 | AI全自动在线精准检测,实时获取硅片图像,缺陷分类 |
数据统计 | 直观便捷提供可视化量化数据,帮助客户完善工艺 |
检测能力* | |
产能 | ≥12000 pcs/h(约10舟/h) |
检测效率 | 单次检测≤0.6s(单次拍照处理) |
Uptime | ≥99%,计算方式:[1-(维护+维修时间)/总时间]*100% |
最高检测精度 | 0.06mm/pixel |
准确性 | 检出率:≥99% 漏检率:≤0.5% 检测良率:≥95% |
我们为您提供更加合适的解决方案供您参考,您可以通过电话、聊天、电子邮件等方式与我们联系。
地址:上海闵行商务区申滨南路1126号
龙湖虹桥天街C栋8层、10层
电话:138 1784 0745
邮箱:marketing@matrixtime.com
地址:湖南省长沙市开福区北辰三角洲
电话:138 1784 0745
邮箱:sales@matrixtime.com
地址:深圳市龙岗区坂田街道坂雪岗大道4033号江南时代大厦5层
电话:138 1784 0745
邮箱:sales@matrixtime.com
Copyright © 聚时科技(上海)有限公司 备案号:沪ICP备19035611号-1技术支持:上海网站建设 网站地图