硅片检测
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MatrixSolar·石英舟检测设备

主要用于扩散上下料/氧化上下料石英石内部硅片的检测,检测硅片是否存在少片、空片、碎片等。实时监控舟内片的情况,及时报警反馈设备或人工处理。

实时管理监控当前工艺段的成品率,避免不良品随花篮流入后续制程,提高整体产线效率。

产品规格
物料能力
支持产品 单晶:PERC、HJT、TOPCon等
兼容产品尺寸 扩散上下料/氧化上下料,基础尺寸182±0.5mm,向下尺寸不限,向上兼容至230±0.5mm,硅片厚度≥140μm,常规100片的花篮
检测功能*
检测项目 石英舟满舟碎片、缺片、空舟舟槽内碎片、顶齿内碎片等
自动检测 AI全自动在线精准检测,实时获取硅片图像,缺陷分类
数据统计 直观便捷提供可视化量化数据,帮助客户完善工艺
检测能力*
产能 ≥12000 pcs/h(约10舟/h)
检测效率 单次检测≤0.6s(单次拍照处理)
Uptime ≥99%,计算方式:[1-(维护+维修时间)/总时间]*100%
最高检测精度 0.06mm/pixel
准确性 检出率:≥99%
漏检率:≤0.5%
检测良率:≥95%

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