Provide optimal industrial AI solutions
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暗场纳米级缺陷检测，覆盖先进工艺检测需求
自研高速信号处理与AI系统，提升WPH和工艺适配性
标配暗场SNR增强功能、明场DIC
内嵌AI based ADC
适用Fab先进制程、大硅片、三代半衬底&外延片
| 检测能力* | ||
| 支持产品 | 6“、 8“、12” 晶圆 | |
| 传输系统 （可根据客户需求定制） |
2×12"FOUP 2×8" SMIF 五轴双臂真空吸附机械手 |
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| 支持缺陷检测 review及 ADC缺陷分类 |
最小缺陷检测尺寸 | ≥5μm@1X ；≥2.5μm@2X ；≥1μm@5X |
| 缺陷检出率 | ≥99.9% |
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| 缺陷检出重复性 | ≥99.5% | |
| 产率 | ≥130WPH@5μm； ≥90WPH@2.5μm； ≥20WPH@1μm | |
| 检测功能* | ||
| 缺陷 Review功能 |
支持KLARF文件解析 支持手动/自动在线Review功能 缺陷按比例选择，手动分类/排序/筛选/浏览/编辑等功能 |
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| 微观拍照功能 | 支持手动/自动微观拍照 | |
| 手动/自动 调焦功能 | 支持每个硅片不同位置高度手动/自动调整功能 | |
| 量测功能 | 支持手动/半自动量测功能 | |
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